標準組件

高品質的鏡面基板，玻璃和石英玻璃

具有公差的PR涂層

Ø對于R = 10 ... 30％，±2％

Ø對于R = 30 ... 75％，±±3％

Ø對于R = 75 ... 90％，±±2％

Øo±1％，R> 90％

Ø•開發和生產客戶特定的組件

圖2：不同AOI（a）下308nm可變衰減器的透射光譜和308nm處透射率與AOI（b）的關系。

在AOI = 0°時，透射率從T> 85％變化到在AOI = 45°時T = 2±1％（非偏振光）

耐氟腔光學

圖3：氟化KrF激光鏡（a）和R = 50±3％的輸出耦合器（b）的反射光譜

•氟化物涂層和CaF2基材，對氟和氯具有較高的穩定性

•激光鏡（在248nm和308nm處為> 98％，在351nm下R> 96％）

•高品質的鏡面基板，窗戶和CaF2透鏡（248nm準分子級或紫外線質量，肖特公司）

•具有公差的PR涂層

對于R = 10 ... 30％，±2％

對于R = 30 ... 75％，o±3％

o±2％，R = 75 ...> 90％

KrF，XeCl和XeF激光組件的技術參數

*在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena進行了測量

**能量密度：100mJ / cm 2， 速率：100Hz，脈沖持續時間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

***能量密度：55 mJ / cm2， 速率：100Hz，脈沖持續時間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試